七月初,深城智云总部。
魏源凯穿着一身定制的西装,手里还拿着一个工作平板走进会场,进入会场后环视一圈,会场里的一群刚入职的新员工们迅速安静了下来。
魏源凯只是环视一圈后就没有多看,而是...
会议室里的空调冷气开得很足,徐申学却没系西装最上面那粒纽扣。他靠在真皮座椅里,左手无意识摩挲着腕上那块老式机械表的表壳——不是什么名贵货,是十年前智云微电子第一条12英寸晶圆产线通电那天,厂长亲手递给他的一块国产仿制ETA机芯表,表盘背面还刻着“N7初代良率突破68.3%”的字样。表针走动声极轻,却像敲在每个人的太阳穴上。
投影幕布上,A10工艺节点的技术树图正缓慢展开:顶层是“超临界逻辑芯片”,向下分叉为“金属间隔<14nm工艺集成”“低温原子层沉积腔室”“量子隧穿抑制型栅介质”“自对准四重图形化(SAQP+)光刻套刻精度补偿系统”四大主干。每一条分支旁都标注着红字倒计时——最长的那条写着“HEUV-800C极限曝光能力逼近窗口:剩余117天”。
“邱寒怡刚从仙男山控股回来。”徐申学忽然开口,声音不高,却让后排正在核对光刻胶供应商清单的工程师手一抖,钢笔在纸上划出长长一道墨痕。“她带回来三份材料。”他抬手示意助理推上前排,平板电脑屏幕亮起,第一份是海湾科技最新提交的HEUV-800C光刻机实测数据:在连续72小时满负荷运行后,其光学系统的数值孔径衰减曲线比预期快了1.8%,这意味着单次曝光的金属间隔理论下限,实际只能稳定维持在16.3纳米——比设计值高0.3纳米,却比A10要求的14纳米多出整整2.3纳米。
“2.3纳米。”徐申学用指尖点了点屏幕,“够造三百万颗5G基带芯片,够装十万辆智能电动车的域控制器,够支撑一座中型城市的AI交通调度系统……但不够造一颗A10芯片。”
会议室里响起几声压抑的咳嗽。有人悄悄把保温杯盖拧紧,陶瓷杯底磕在会议桌沿上,发出清脆的“咔”一声。
第二份材料来自仙男山控股下属的“青蚨材料”实验室。徐申学的手指划过屏幕,调出一组透射电镜图像:放大八十万倍的晶圆截面图上,传统氮化硅硬掩模层边缘呈现锯齿状粗糙度,而新开发的铪锆氧合金掩模层则平滑如镜。“他们用分子束外延法在原子尺度重构了掩模层晶格结构。”徐申学顿了顿,“但量产设备要半年后才能交付,产线调试还要三个月。”
第三份材料最薄,只有两页纸。徐申学把它翻过来,露出背面用铅笔写的几行小字:“A10光刻验证片良率提升方案——建议采用‘双轨并进’:主轨继续攻坚HEUV-800C极限性能;副轨启动‘鹊桥计划’:在现有N1.5产线内划出2000平米洁净区,部署HDUV-600F光刻机+新型多重图形化套刻系统,以六重曝光实现13.7纳米等效金属间隔。成本增加19%,但可提前11个月流片。”
笔迹很熟悉。徐申学认得出来,是邱寒怡的字,带着她一贯的、近乎执拗的工整。
“鹊桥计划?”技术总监王振国终于忍不住开口,声音发紧,“HDUV-600F单台才一千四百万美元,可六重曝光需要六套独立光刻系统、六组配套蚀刻腔体、还有……”他掰着手指数,“六套精密套刻对准系统,每套误差必须控制在0.8纳米以内。这已经不是省钱的问题,是把整个工艺链往悬崖边上推!”
“悬崖?”徐申学突然笑了,眼角皱纹堆叠起来,像刀刻的沟壑,“去年这时候,谁信我们能用DUV浸润式光刻机硬扛N7工艺?当时中芯的人来参观,指着我们的HDUV-600E说‘这是博物馆展品’。”他起身走到落地窗前,手指抹过玻璃上一道几乎看不见的水痕,“现在呢?他们最新招标文件里,HDUV-600系列采购量涨了三百七十台。”
窗外,智云集团总部大楼的玻璃幕墙正反射着四月午后的阳光,刺眼得让人睁不开眼。远处,三座新建的银灰色厂房轮廓清晰可见——那是尚未启用的量子芯片工厂地基,钢筋骨架裸露在春日天空下,像三具沉默的钢铁脊椎。
“鹊桥计划不是退路。”徐申学转过身,目光扫过每一张脸,“是跳板。我们要在HEUV-800C彻底达到物理极限前,在它身上榨出最后一滴油,同时让HDUV-600F学会跳芭蕾。”他踱回座位,从公文包里取出一个牛皮纸信封,抽出一张泛黄的相片推到桌中央。
照片
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